分子真空泵（簡(jiǎn)稱分子泵）是1913年是德國(guó)人蓋得（W.Gaede）首先發(fā)明的。他又以氣體的外摩擦作用為分子泵奠定了理論基礎(chǔ)。雖然分子泵是一種機(jī)械泵,但它已經(jīng)擺脫了那種靠容積變化來抽氣的容積泵原理，而是靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面來攜帶氣體分子實(shí)現(xiàn)抽氣的一種新型機(jī)械真空泵。通常把高速剛體表面攜帶氣體分子按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象成為分子牽引，或稱為氣體的外摩擦輸運(yùn)現(xiàn)象。因此，人們把蓋得發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。這種泵具有啟動(dòng)時(shí)間短，抽重氣體比抽輕氣體快等一系列優(yōu)點(diǎn)。但由于它的密封間隙小，容易引起機(jī)械故障以及加工精度要求高等，除特殊需要外，實(shí)際上很少應(yīng)用，曾有些人做過不少改進(jìn)，出現(xiàn)過幾種不同類型的牽引分子泵，但因?yàn)槌樗俚蜎]有推廣應(yīng)用，曾一度被結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的擴(kuò)散泵所代替。
德國(guó)人貝克（W.Becker）1956年發(fā)明了一種適于超高真空下工作的渦輪分子泵。這種泵和牽引分子泵相比，在結(jié)構(gòu)和原理方面并不完全相同。渦輪分子泵是以高速旋動(dòng)的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來實(shí)現(xiàn)抽氣的。這種泵的極限壓力可以達(dá)到10-9帕以下，對(duì)油蒸汽等高分子量氣體的壓縮比很高，幾乎能達(dá)到測(cè)不出的程度。因而殘余氣體中油蒸汽的分壓力很低。由于軸承用的潤(rùn)滑油僅在泵的出口側(cè)存在，故泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中入口處檢查不出油的痕跡。因此，渦輪分子泵可以獲得清潔無(wú)油的超高真空。這種泵如果長(zhǎng)期不用，軸承處的油蒸汽會(huì)擴(kuò)散到泵的入口側(cè)，降低泵所能達(dá)到的清潔程度。為了消除油蒸汽的污染，在工作時(shí)，須對(duì)泵的入口進(jìn)行烘烤除氣，烘烤溫度要嚴(yán)格控制，過高會(huì)使葉片變形。有的在停泵時(shí)，用壓力為13hPa的干燥氣體充入泵內(nèi)，以消除油蒸汽返流造成的污染。
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