(1)抽氣速率:真空泵的抽氣速率也叫生產能力，在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從設備內抽走氣體的體積，單位m?/S或m3/h表示。
(2)殘余壓力:也叫極限真空即真空泵能達到穩定狀態下的最低壓力，單位“Torr”或%表示。1Torr=1/760atm=133.3Pa。
(3)抽氣量:在一定溫度下，真空泵在單位時間內能從設備內抽走指定氣體量叫抽氣量，單位m3/h。
(4)起動壓力:真空泵開始工作時的壓力。
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